Pulse Management in High Power Pulsed Magnetron Sputtering of Niobium

M. Hala, J. Capek, O. Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2012)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/15304/
Titre de la revue:	Surface and Coatings Technology (vol. 206, no 19-20)
Maison d'édition:	Elsevier
DOI:	10.1016/j.surfcoat.2012.04.019
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2012.04.019
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:11
Dernière modification:	05 avr. 2024 10:56

Citer en APA 7:	Hala, M., Capek, J., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2012). Pulse Management in High Power Pulsed Magnetron Sputtering of Niobium. Surface and Coatings Technology, 206(19-20), 4186-4193. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2012.04.019
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