Pulse Management in High Power Pulsed Magnetron Sputtering of Niobium

Matěj Hala, Jiří Čapek, Oleg Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu

Article de revue (2012)

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Département:
Département de génie physique
Unité de recherche:
LaRFIS - Laboratoire des Revêtements Fonctionnels et Ingénierie des Surfaces
Adresse URL de PolyPublie:
https://publications.polymtl.ca/15304/
Titre de la revue :
Surface and Coatings Technology ( vol. 206 , no 19-20 )
Maison d'édition:
Elsevier
DOI:
10.1016/j.surfcoat.2012.04.019
URL officielle:
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2012.04.019
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:15304
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:11
Dernière modification:
14 oct. 2026 11:16
Citer en APA 7:
Hala, M., Čapek, J., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2012). Pulse Management in High Power Pulsed Magnetron Sputtering of Niobium. Surface and Coatings Technology, 206(19-20), 4186-4193. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2012.04.019

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