Hysteresis-Free Deposition of Niobium Oxide Films by Hipims Using Different Pulse Management Strategies

M. Hala, J. Capek, O. Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2012)

Un lien externe est disponible pour ce document

Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/15303/
Titre de la revue:	Journal of Physics D: Applied Physics (vol. 45, no 5)
Maison d'édition:	IOP Publishing
DOI:	10.1088/0022-3727/45/5/055204
URL officielle:	https://doi.org/10.1088/0022-3727/45/5/055204
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:11
Dernière modification:	05 avr. 2024 10:56

Citer en APA 7:	Hala, M., Capek, J., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2012). Hysteresis-Free Deposition of Niobium Oxide Films by Hipims Using Different Pulse Management Strategies. Journal of Physics D: Applied Physics, 45(5). https://doi.org/10.1088/0022-3727/45/5/055204
APA 7 (HTML)ASCII CitationAtomBibTeXDOIsDublin CoreEndNote (.ENW)MARC (ISO 2709/UTF-8) (.MRC)MARC (UTF-8) (.MRK8)MARC XMLMPEG-21 DIDLMultiline CSVOAI-ORE Resource Map (Atom Format)OPENAIREOpenURL ContextObjectOpenURL ContextObject in SpanRDF+N-TriplesRDF+N3RDF+XMLReferReference Manager (.RIS)Répertoire des publications (EndNote)Simple Metadata

Statistiques

Actions réservées au personnel