M. Hála, Jiří Čapek, O. Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha
et Ludvik Martinu
Article de revue (2012)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | LaRFIS - Laboratoire des Revêtements Fonctionnels et Ingénierie des Surfaces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/15303/ |
| Titre de la revue: | Journal of Physics D: Applied Physics (vol. 45, no 5) |
| Maison d'édition: | IOP Publishing |
| DOI: | 10.1088/0022-3727/45/5/055204 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1088/0022-3727/45/5/055204 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:11 |
| Dernière modification: | 25 avr. 2025 16:02 |
| Citer en APA 7: | Hála, M., Čapek, J., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2012). Hysteresis-Free Deposition of Niobium Oxide Films by Hipims Using Different Pulse Management Strategies. Journal of Physics D: Applied Physics, 45(5). https://doi.org/10.1088/0022-3727/45/5/055204 |
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