Hysteresis-Free Deposition of Niobium Oxide Films by Hipims Using Different Pulse Management Strategies

M. Hala, J. Capek, O. Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2012)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/15303/
Titre de la revue:	Journal of Physics D: Applied Physics (vol. 45, no 5)
Maison d'édition:	IOP Publishing
DOI:	10.1088/0022-3727/45/5/055204
URL officielle:	https://doi.org/10.1088/0022-3727/45/5/055204
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:11
Dernière modification:	25 sept. 2024 15:52

Citer en APA 7:	Hala, M., Capek, J., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2012). Hysteresis-Free Deposition of Niobium Oxide Films by Hipims Using Different Pulse Management Strategies. Journal of Physics D: Applied Physics, 45(5). https://doi.org/10.1088/0022-3727/45/5/055204
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