Hysteresis-Free Deposition of Niobium Oxide Films by Hipims Using Different Pulse Management Strategies

Matěj Hala, Jiří Čapek, Oleg Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu

Article de revue (2012)

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Titre de la revue :
Journal of Physics D: Applied Physics ( vol. 45 , no 5 )
Maison d'édition:
IOP Publishing
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:15303
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:11
Dernière modification:
14 oct. 2026 11:16
Citer en APA 7:
Hala, M., Čapek, J., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2012). Hysteresis-Free Deposition of Niobium Oxide Films by Hipims Using Different Pulse Management Strategies. Journal of Physics D: Applied Physics, 45(5). https://doi.org/10.1088/0022-3727/45/5/055204

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