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Meunier, M., Izquierdo, R., Shen, B., Lecours, A., Allard, M., Bergeron, A., Hanus, F., Boughaba, S., Ivanov, D., Currie, J. F., Laude, L., & Yelon, A. (novembre 1995). Applications of laser processing for sensors and actuators [Communication écrite]. MRS Fall Symposium, Boston, MA, USA. Lien externe

S

Shen, B., Allard, M., Boughaba, S., Izquierdo, R., & Meunier, M. (1996). Laser-micromachining silicon three-dimensional structures, tunnels, and cavities. Canadian Journal of Physics, 74(S1), 54-58. Lien externe

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