Laser-micromachining silicon three-dimensional structures, tunnels, and cavities

Shen, B.; Allard, M.; Boughaba, S.; Izquierdo, Ricardo; Meunier, Michel; Shen, B.; Allard, M.; Boughaba, S.; Izquierdo, Ricardo; Meunier, Michel

Laser-micromachining silicon three-dimensional structures, tunnels, and cavities

B. Shen, M. Allard, S. Boughaba, Ricardo Izquierdo, Michel Meunier

Article de revue (1996)

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Département:

Département de génie physique

Adresse URL de PolyPublie:

https://publications.polymtl.ca/30876/

Titre de la revue :

Canadian Journal of Physics ( vol. 74 , no S1 )

Maison d'édition:

Canadian Science Publishing

DOI:

10.1139/p96-832

URL officielle:

https://doi.org/10.1139/p96-832

OAI:

oai:publications.polymtl.ca:30876

ORCID

Date du dépôt:

18 avr. 2023 15:24

Dernière modification:

14 oct. 2026 13:17

Citer en APA 7:

Shen, B., Allard, M., Boughaba, S., Izquierdo, R., & Meunier, M. (1996). Laser-micromachining silicon three-dimensional structures, tunnels, and cavities. Canadian Journal of Physics, 74(S1), 54-58. https://doi.org/10.1139/p96-832

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