Documents publiés en "1993"

Département de génie physique

Moisan, M., & Wertheimer, M. R. (1993). Comparison of microwave and r.f. plasmas: fundamentals and applications. Surface and Coatings Technology, 59(1), 1-13. Lien externe

Wertheimer, M. R., & Moisan, M. (août 1993). Processing of electronic materials by microwave plasma [Communication écrite]. 11th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1993), Loughborough, UK. Lien externe