M. Moisan, Michael R. Wertheimer
Article de revue (1993)
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Département:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Surface and Coatings Technology
(
vol.
59
,
no
1
)
Maison d'édition:
Elsevier
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:38196
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:29
Citer en APA 7:
Moisan, M., & Wertheimer, M. R. (1993). Comparison of microwave and r.f. plasmas: fundamentals and applications. Surface and Coatings Technology, 59(1), 1-13. https://doi.org/10.1016/0257-8972%2893%2990047-r
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