Michael R. Wertheimer
, M. Moisan
Communication écrite (1993)
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Nom de la conférence:
11th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1993)
Lieu de la conférence:
Loughborough, UK
Date(s) de la conférence:
1993-08-22 - 1993-08-27
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:66764
ORCID
Date du dépôt:
24 juil. 2025 16:30
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:28
Citer en APA 7:
Wertheimer, M. R., & Moisan, M. (août 1993). Processing of electronic materials by microwave plasma [Communication écrite]. 11th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1993), Loughborough, UK. https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc11/content/11/11-1106.pdf
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