Écriture directe de circuits optiques plans dans des couches minces de silice sur silicium par ablation au laser CO₂

Lütfü Çelebi Özcan

Thèse de doctorat (2007)

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Mots clés

• Couches minces de silice
• Circuits intégrés -- Conception et construction
• Lasers à gaz carbonique
• Academic theses

Renseignements supplémentaires:	Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/315046255
Département:	Département de génie physique
Directeurs ou directrices:	Raman Kashyap et Ludvik Martinu
ISBN:	9780494371350; 0494371358
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/7988/
Université/École:	École Polytechnique de Montréal
Date du dépôt:	04 août 2021 11:05
Dernière modification:	28 sept. 2024 22:25

Citer en APA 7:	Özcan, L. Ç. (2007). Écriture directe de circuits optiques plans dans des couches minces de silice sur silicium par ablation au laser CO₂ [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/7988/
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