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Écriture directe de circuits optiques plans dans des couches minces de silice sur silicium par ablation au laser CO₂

Lütfü Çelebi Özcan

Thèse de doctorat (2007)

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Mots clés

Couches minces de silice; Circuits intégrés -- Conception et construction; Lasers à gaz carbonique; Academic theses

Renseignements supplémentaires: Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/315046255
Département: Département de génie physique
Directeurs ou directrices: Raman Kashyap et Ludvik Martinu
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/7988/
Université/École: École Polytechnique de Montréal
Date du dépôt: 04 août 2021 11:05
Dernière modification: 08 avr. 2024 09:48
Citer en APA 7: Özcan, L. Ç. (2007). Écriture directe de circuits optiques plans dans des couches minces de silice sur silicium par ablation au laser CO₂ [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/7988/

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