Réalisation d'un capteur d'image pour une application en spectroscopie de réflexion

L'utilisation de la spectroscopie de réflexion a apporté beaucoup de solutions dans le domaine biomédical et plus particulièrement la mesure du niveau de saturation d'oxygène dans le sang de la rétine. Le sang dans la rétine constitue aussi un bon site pour la mesure du tau d'oxygénation dans le cerveau, puisque le cerveau et les yeux partagent la même artère et donc la même source d'oxygénation. Ce qui rend la mesure du tau d'oxygénation très vital et la technique de spectroscopie de réflexion utile pour cette application. Dans ce projet, nous proposons une amélioration dans cette technique. Un capteur d'image est rajouté au système de sorte à pouvoir imager la région à évaluer avec la spectroscopie de réflexion. Ce capteur d'image contient une fibre optique insérée sur sa face arrière. Cette dernière est aussi connectée à un spectrographe, et donc au dispositif d'évaluation du sang de la rétine. Pour arriver à cela, nous développons un procédé de gravure profonde de silicium sur la face arrière du capteur d'image. Comme la dimension du capteur d'image ajoute des contraintes de micro-fabrication, la technique classique de photolithographie ne correspond pas dans ces conditions. Par conséquent, des techniques de micro-fabrications ont été explorées et un procédé de gravure a été mis en œuvre. En plus de la micro-fabrication, la conception du circuit intégré-capteur d'image est réalisé dans ce projet. Des solutions ont été proposées pour s'adapter électroniquement aux contraintes physiques que le trou impose sur la face arrière du capteur d'image. La matrice de pixels est divisée en quatre sous matrices indépendantes et le mode de lecture est modifié pour l'adressage et la lecture de chaque pixel. À la fin de ce projet, les résultats expérimentaux du capteur d'image ainsi que les améliorations pour les projets futurs seront proposés.