Stabilité thermique des propriétés optiques, mécaniques et microstructurales des oxydes de tantale et de niobium fabriqués par plasma

Abstract

Applications des couches minces d'oxydes de métaux -- Historique sur les oxydes de niobium et de tantale -- Propriétés recherchées -- Objectifs -- Plan du mémoire -- Revue de la littérature et base théoriques -- Revue des méthodes de fabrication -- Propriétés physiques des oxydes métalliques -- Méthodologie expérimentale -- Fabrication des films et réacteur PECVD -- Traitement thermique -- Méthodes de caractérisation optique -- Méthodes de caractérisation microstructurale -- Méthodes de caractérisation mécanique -- Processus d'optimisation des conditions de dépôt -- Effet des conditions de dépôt -- Composition chimique et incorporation de carbone -- Stability and effect of annealing on optical properties of plasma-deposited TA2O5 and NB2O5 films -- Article soumis à Thin Solid Films : stability and effect on annealing on optical properties of plasma-deposited Ta2O5 films -- Abstract -- Experimental methodology -- Relationship between compositional and optical properties -- Propriétés mécaniques -- Dureté et module de Young -- Contraintes -- Charges critiques -- Coefficient de friction -- Taux d'usure et de rugosité.

Uncontrolled Keywords

Oxydes de niobium -- Propriétés thermomécaniques; Oxydes de niobium -- Propriétés optiques; Oxydes de niobium -- Microstructure; Oxyde de tantale -- Propriétés thermomécaniques; Oxyde de tantale -- Propriétés optiques; Oxyde de tantale -- Microstructure