Micro-Structural Analysis of AlN Wafer Bonding and Hydrogen Ion-Induced Splitting for Film Exfoliation

M. Abdullah Mamun, Kanda Tapliy, Oussama Moutanabbir, Diefeng Gu, Helmut Baumgart et Abedlmageed Elmustafa

Article de revue (2012)

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URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/74561/
Titre de la revue:	ECS Meeting Abstracts (vol. MA2012-02, no 40)
Maison d'édition:	Institute of Physics
DOI:	10.1149/ma2012-02/40/2984
URL officielle:	https://doi.org/10.1149/ma2012-02/40/2984
Date du dépôt:	30 juil. 2026 15:14
Dernière modification:	30 juil. 2026 15:14

Citer en APA 7:	Mamun, M. A., Tapliy, K., Moutanabbir, O., Gu, D., Baumgart, H., & Elmustafa, A. (2012). Micro-Structural Analysis of AlN Wafer Bonding and Hydrogen Ion-Induced Splitting for Film Exfoliation. ECS Meeting Abstracts, MA2012-02(40), 2984 (1 page). https://doi.org/10.1149/ma2012-02/40/2984
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