Observation of free surface-induced bending upon nanopatterning of ultrathin strained silicon layer

Oussama Moutanabbir, Manfred Reiche, Nikolai Zakharov, Falk Naumann et Matthias Petzold

Article de revue (2010)

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Organismes subventionnaires:	Bundesministerium für Bildung und Forschung
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/74543/
Titre de la revue:	Nanotechnology (vol. 22, no 4)
Maison d'édition:	IOP Publishing
DOI:	10.1088/0957-4484/22/4/045701
URL officielle:	https://doi.org/10.1088/0957-4484/22/4/045701
Date du dépôt:	30 juil. 2026 14:49
Dernière modification:	30 juil. 2026 14:49

Citer en APA 7:	Moutanabbir, O., Reiche, M., Zakharov, N., Naumann, F., & Petzold, M. (2010). Observation of free surface-induced bending upon nanopatterning of ultrathin strained silicon layer. Nanotechnology, 22(4), 045701 (5 pages). https://doi.org/10.1088/0957-4484/22/4/045701
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