Observation of free surface-induced bending upon nanopatterning of ultrathin strained silicon layer

Oussama Moutanabbir, Manfred Reiche, Nikolai Zakharov, Falk Naumann, Matthias Petzold

Article de revue (2010)

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Organismes subventionnaires:
Bundesministerium für Bildung und Forschung
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Titre de la revue :
Nanotechnology ( vol. 22 , no 4 )
Maison d'édition:
IOP Publishing
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:74543
ORCID
Date du dépôt:
30 juil. 2026 14:49
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:36
Citer en APA 7:
Moutanabbir, O., Reiche, M., Zakharov, N., Naumann, F., & Petzold, M. (2010). Observation of free surface-induced bending upon nanopatterning of ultrathin strained silicon layer. Nanotechnology, 22(4), 045701 (5 pages). https://doi.org/10.1088/0957-4484/22/4/045701

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