Comparison of microwave and lower frequency discharges for plasma polymerization

R. Claude, Michel Moisan, Michael R. Wertheimer et Z. Zakrzewski

Article de revue (1987)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/73549/
Titre de la revue:	Applied Physics Letters (vol. 50, no 25)
Maison d'édition:	American Institute of Physics
DOI:	10.1063/1.97700
URL officielle:	https://doi.org/10.1063/1.97700
Date du dépôt:	07 avr. 2026 14:54
Dernière modification:	07 avr. 2026 14:54

Citer en APA 7:	Claude, R., Moisan, M., Wertheimer, M. R., & Zakrzewski, Z. (1987). Comparison of microwave and lower frequency discharges for plasma polymerization. Applied Physics Letters, 50(25), 1797-1799. https://doi.org/10.1063/1.97700
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