Comparison of microwave and lower frequency discharges for plasma polymerization

R. Claude, Michel Moisan, Michael R. Wertheimer, Z. Zakrzewski

Article de revue (1987)

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Titre de la revue :
Applied Physics Letters ( vol. 50 , no 25 )
Maison d'édition:
American Institute of Physics
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:73549
ORCID
Date du dépôt:
07 avr. 2026 14:54
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:34
Citer en APA 7:
Claude, R., Moisan, M., Wertheimer, M. R., & Zakrzewski, Z. (1987). Comparison of microwave and lower frequency discharges for plasma polymerization. Applied Physics Letters, 50(25), 1797-1799. https://doi.org/10.1063/1.97700

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