Thèse de doctorat (2002)
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| Renseignements supplémentaires: | Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/56108637 |
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| Département: | Département de génie physique |
| Directeurs ou directrices: |
Michael R. Wertheimer et Yvan Ségui
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| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/7083/ |
| Université/École: | École Polytechnique de Montréal |
| Date du dépôt: | 04 août 2021 11:05 |
| Dernière modification: | 08 oct. 2024 05:26 |
| Citer en APA 7: | Dennler, G. (2002). PECVD de composés de silicium sur polymères : étude de la première phase du dépôt [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/7083/ |
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