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PECVD de composés de silicium sur polymères : étude de la première phase du dépôt

Gilles Dennler

Ph.D. thesis (2002)

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Additional Information: Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/56108637
Department: Department of Engineering Physics
Academic/Research Directors: Michael R. Wertheimer and Yvan Ségui
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/7083/
Institution: École Polytechnique de Montréal
Date Deposited: 04 Aug 2021 11:05
Last Modified: 08 Oct 2024 05:26
Cite in APA 7: Dennler, G. (2002). PECVD de composés de silicium sur polymères : étude de la première phase du dépôt [Ph.D. thesis, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/7083/

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