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PECVD de composés de silicium sur polymères : étude de la première phase du dépôt

Gilles Dennler

PhD thesis (2002)

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Cite this document: Dennler, G. (2002). PECVD de composés de silicium sur polymères : étude de la première phase du dépôt (PhD thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/7083/
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Department: Département de génie physique
Date Deposited: 04 Aug 2021 11:05
Last Modified: 25 Aug 2021 14:57
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/7083/

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