The fabrication of TiN films by reactive evaporation and rapid thermal annealing

Morris Repeta, L. Dignard-Bailey, John F. Currie, J. L. Brebner et K. Barla

Article de revue (1988)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/70720/
Titre de la revue:	Journal of Applied Physics (vol. 63, no 8)
Maison d'édition:	American Institute of Physics
DOI:	10.1063/1.340980
URL officielle:	https://doi.org/10.1063/1.340980
Date du dépôt:	22 déc. 2025 14:56
Dernière modification:	22 déc. 2025 14:56

Citer en APA 7:	Repeta, M., Dignard-Bailey, L., Currie, J. F., Brebner, J. L., & Barla, K. (1988). The fabrication of TiN films by reactive evaporation and rapid thermal annealing. Journal of Applied Physics, 63(8), 2796-2799. https://doi.org/10.1063/1.340980
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