Morris Repeta, L. Dignard-Bailey, John F. Currie, J. L. Brebner, K. Barla
Article de revue (1988)
Accéder à ce document
Lien externe
Ce document n'est pas archivé dans PolyPublie, mais peut être consulté chez l'éditeur officiel
Mots clés
Département:
Unité de recherche:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Journal of Applied Physics
(
vol.
63
,
no
8
)
Maison d'édition:
American Institute of Physics
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:70720
ORCID
Date du dépôt:
22 déc. 2025 14:56
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:31
Citer en APA 7:
Repeta, M., Dignard-Bailey, L., Currie, J. F., Brebner, J. L., & Barla, K. (1988). The fabrication of TiN films by reactive evaporation and rapid thermal annealing. Journal of Applied Physics, 63(8), 2796-2799. https://doi.org/10.1063/1.340980
Statistiques
Dimensions
