High-resolution x-ray diffraction to determine the self-limiting growth in atomic layer epitaxy of InP and InAs/InP heterostructures

C. A. Tran, Rémo A. Masut, John Low Brebner et Richard Leonelli

Article de revue (1993)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/70714/
Titre de la revue:	Applied Physics Letters (vol. 62, no 19)
Maison d'édition:	American Institute of Physics
DOI:	10.1063/1.109369
URL officielle:	https://doi.org/10.1063/1.109369
Date du dépôt:	22 déc. 2025 15:02
Dernière modification:	22 déc. 2025 15:02

Citer en APA 7:	Tran, C. A., Masut, R. A., Brebner, J. L., & Leonelli, R. (1993). High-resolution x-ray diffraction to determine the self-limiting growth in atomic layer epitaxy of InP and InAs/InP heterostructures. Applied Physics Letters, 62(19), 2375-2377. https://doi.org/10.1063/1.109369
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