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Etude ellipsométrique de l'interface entre des substrats polymériques et des couches optiques déposées par plasma

Adam Bergeron

Masters thesis (1998)

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Cite this document: Bergeron, A. (1998). Etude ellipsométrique de l'interface entre des substrats polymériques et des couches optiques déposées par plasma (Masters thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/6876/
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Abstract

Bases expérimentales et théoriques -- L'interaction du plasma avec une surface polymérique -- L'ellipsométrie spectroscopique et la caractérisation optique -- Méthodologie expérimentale et caractérisations préliminaires -- Mesures optiques effectuées -- La caractérisation optique des substrats -- Le réacteur plasma -- L'étude ellipsométrique des prétraitements -- L'étude ellipsométriques in-situ -- Les techniques complémentaires -- Étude des prétraitements -- Caractérisation optique -- Étude in-situ de prétraitements sur polycarbonate -- Autres techniques de caractérisation -- Discussion globale de l'étude des prétraitements -- Étude de l'Interface Couche/Substrat -- Caractérisation optique -- Observations TEM -- Étude in-situ de dépôts de SiN1.3 sur polycarbonate -- Discussion de la structure de l'interface -- Effets de l'Interface sur les filtres optiques -- Les filtres interférentiels -- Simulations -- Tests avec des couches antiréfléchissantes.

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Additional Information: Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/50440752
Department: Département de génie physique
Date Deposited: 04 Aug 2021 11:05
Last Modified: 25 Aug 2021 14:57
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/6876/

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