Etude ellipsométrique de l'interface entre des substrats polymériques et des couches optiques déposées par plasma

Abstract

Bases expérimentales et théoriques -- L'interaction du plasma avec une surface polymérique -- L'ellipsométrie spectroscopique et la caractérisation optique -- Méthodologie expérimentale et caractérisations préliminaires -- Mesures optiques effectuées -- La caractérisation optique des substrats -- Le réacteur plasma -- L'étude ellipsométrique des prétraitements -- L'étude ellipsométriques in-situ -- Les techniques complémentaires -- Étude des prétraitements -- Caractérisation optique -- Étude in-situ de prétraitements sur polycarbonate -- Autres techniques de caractérisation -- Discussion globale de l'étude des prétraitements -- Étude de l'Interface Couche/Substrat -- Caractérisation optique -- Observations TEM -- Étude in-situ de dépôts de SiN1.3 sur polycarbonate -- Discussion de la structure de l'interface -- Effets de l'Interface sur les filtres optiques -- Les filtres interférentiels -- Simulations -- Tests avec des couches antiréfléchissantes.