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Caractérisation d'une barrière de diffusion de TiN oxydée par plasma

Vincent Fortin

Mémoire de maîtrise (1997)

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Université/École: École Polytechnique de Montréal
Date du dépôt: 04 août 2021 11:06
Dernière modification: 01 oct. 2024 10:31
Citer en APA 7: Fortin, V. (1997). Caractérisation d'une barrière de diffusion de TiN oxydée par plasma [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/6719/

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