Caractérisation d'une barrière de diffusion de TiN oxydée par plasma

Vincent Fortin

Mémoire de maîtrise (1997)

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Université/École:	École Polytechnique de Montréal
Date du dépôt:	04 août 2021 11:06
Dernière modification:	07 avr. 2024 14:34

Citer en APA 7:	Fortin, V. (1997). Caractérisation d'une barrière de diffusion de TiN oxydée par plasma [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/6719/
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