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Caractérisation d'une barrière de diffusion de TiN oxydée par plasma

Vincent Fortin

Masters thesis (1997)

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Cite this document: Fortin, V. (1997). Caractérisation d'une barrière de diffusion de TiN oxydée par plasma (Masters thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/6719/
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Abstract

Métallisation des circuits intégrés -- Percement de la jonction P-N -- Barrières de diffusion -- Diagrammes de phases -- Méthode expérimentale -- Préparation des échantillons -- Appareils et techniques des couches minces -- Types d'échantillons et traitements subis -- Recuits thermiques -- Diffraction des rayons X -- Détection du recul élastique -- Principe de la détection du recul élastique -- Paramètres de mesures -- Spectres de détection du recul élastique -- Calcul de concentrations -- Avantages et limites de la technique -- Microscopie électronique à balayage -- Microcopie électronique à balayage avec émission de champ -- Spectroscopie par rayons X -- Simulations Monte Carlo -- Barrière de diffusion de TiN usuelle -- Effet de la température de recuit -- Effet de l'exposition à l'air du TiN -- Effet du substrat -- Conséquences sur les propriétés électriques -- Barrière de TiN oxydée par plasma -- Oxydation du TiN par plasma ex- situ d'oxygène -- Oxydation du TiN par plasma in-situ de Ar/O2 -- Conséquences sur les propriétés électriques.

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Additional Information: Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/46572502
Department: Département de génie physique
Date Deposited: 04 Aug 2021 11:06
Last Modified: 01 Feb 2022 14:03
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/6719/

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