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Caractérisation d'une barrière de diffusion de TiN oxydée par plasma

Vincent Fortin

Master's thesis (1997)

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Department: Department of Engineering Physics
Academic/Research Directors: John F. Currie
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/6719/
Institution: École Polytechnique de Montréal
Date Deposited: 04 Aug 2021 11:06
Last Modified: 01 Oct 2024 10:31
Cite in APA 7: Fortin, V. (1997). Caractérisation d'une barrière de diffusion de TiN oxydée par plasma [Master's thesis, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/6719/

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