L. Paquin, J. F. Currie, B. Noirhomme, S. Poulin-Dandurand, Edward Sacher, Michael R. Wertheimer
, Arthur Yelon, J. L. Brebner, R. W. Cochrane, R. Groleau, H. Lu et J. P. Martin
Communication écrite (1983)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/66779/ |
| Nom de la conférence: | 6th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1983) |
| Lieu de la conférence: | Montreal, Qc, Canada |
| Date(s) de la conférence: | 1983-07-24 - 1983-07-28 |
| URL officielle: | https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc6/con... |
| Date du dépôt: | 28 juil. 2025 17:05 |
| Dernière modification: | 28 juil. 2025 17:05 |
| Citer en APA 7: | Paquin, L., Currie, J. F., Noirhomme, B., Poulin-Dandurand, S., Sacher, E., Wertheimer, M. R., Yelon, A., Brebner, J. L., Cochrane, R. W., Groleau, R., Lu, H., & Martin, J. P. (juillet 1983). Comparison of amorphous silicon (a-Si:H) prepared in radio and microwave frequency glow discharges [Communication écrite]. 6th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1983), Montreal, Qc, Canada (5 pages). https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc6/content/6/06-0787.pdf |
|---|---|
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