H. Biederman, V. Stundzia, D. Slavínská, P. Bílková, J. Pešička, P. Hlídek, J. Zemek, Ludvik Martinu, Jolanta-Ewa Sapieha
et S. C. Gujrathi
Communication écrite (1997)
Un lien externe est disponible pour ce document| Département: | Département de génie physique |
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| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| Numéro de subvention: | GACR 202/1995/1487 |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/66759/ |
| Nom de la conférence: | 13th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1997) |
| Lieu de la conférence: | Beijing, China |
| Date(s) de la conférence: | 1997-08-18 - 1997-08-22 |
| URL officielle: | https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc13/co... |
| Date du dépôt: | 24 juil. 2025 15:12 |
| Dernière modification: | 24 juil. 2025 15:12 |
| Citer en APA 7: | Biederman, H., Stundzia, V., Slavínská, D., Bílková, P., Pešička, J., Hlídek, P., Zemek, J., Martinu, L., Sapieha, J.-E., & Gujrathi, S. C. (août 1997). Unbalanced magnetron deposition of composite metal/C:H films - a comparison of basic properties of Ag/C:H, Ni/C:H and Mo/C:H [Communication écrite]. 13th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1997), Beijing, China. https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc13/content/13/13-1165.pdf |
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