Oleg Zabeida, A. Hallil, Jolanta-Ewa Sapieha
, Michael R. Wertheimer et Ludvik Martinu
Communication écrite (1999)
Un lien externe est disponible pour ce document
| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/66753/ |
| Nom de la conférence: | 14th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1999) |
| Lieu de la conférence: | Prague, Czech Republic |
| Date(s) de la conférence: | 1999-08-02 - 1999-08-06 |
| URL officielle: | https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc14/co... |
| Date du dépôt: | 24 juil. 2025 14:46 |
| Dernière modification: | 24 juil. 2025 14:46 |
| Citer en APA 7: | Zabeida, O., Hallil, A., Sapieha, J.-E., Wertheimer, M. R., & Martinu, L. (août 1999). Ion energy distributions in pulsed microwave and dual-mode microwave/radiofrequency [Communication écrite]. 14th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1999), Prague, Czech Republic. https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc14/content/14/14-0169.pdf |
|---|---|
Statistiques
Aucune statistique n'est disponible.
Actions réservées au personnel
|
Afficher document |
