Ion energy distributions in pulsed microwave and dual-mode microwave/radiofrequency

Oleg Zabeida, A. Hallil, Jolanta-Ewa Sapieha, Michael R. Wertheimer, Ludvik Martinu

Communication écrite (1999)

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Nom de la conférence:
14th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1999)
Lieu de la conférence:
Prague, Czech Republic
Date(s) de la conférence:
1999-08-02 - 1999-08-06
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:66753
ORCID
Date du dépôt:
24 juil. 2025 14:46
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:28
Citer en APA 7:
Zabeida, O., Hallil, A., Sapieha, J.-E., Wertheimer, M. R., & Martinu, L. (août 1999). Ion energy distributions in pulsed microwave and dual-mode microwave/radiofrequency [Communication écrite]. 14th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1999), Prague, Czech Republic. https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc14/content/14/14-0169.pdf

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