P. Špatenka, J. Hong, J. Pavel, M. Šerý, Ludvik Martinu
et Michael R. Wertheimer
Communication écrite (2001)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/66752/ |
| Nom de la conférence: | 15th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 2001) |
| Lieu de la conférence: | Orléans, France |
| Date(s) de la conférence: | 2001-07-09 - 2001-07-13 |
| URL officielle: | https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc15/co... |
| Date du dépôt: | 24 juil. 2025 14:31 |
| Dernière modification: | 24 juil. 2025 14:31 |
| Citer en APA 7: | Špatenka, P., Hong, J., Pavel, J., Šerý, M., Martinu, L., & Wertheimer, M. R. (juillet 2001). Electron density and electron energy distribution functions in dual-mode microwave/radio frequency plasmas in argon [Communication écrite]. 15th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 2001), Orléans, France. https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc15/content/15/15-0653.pdf |
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