Electron density and electron energy distribution functions in dual-mode microwave/radio frequency plasmas in argon

P. Špatenka, J. Hong, J. Pavel, M. Šerý, Ludvik Martinu, Michael R. Wertheimer

Communication écrite (2001)

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Nom de la conférence:
15th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 2001)
Lieu de la conférence:
Orléans, France
Date(s) de la conférence:
2001-07-09 - 2001-07-13
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:66752
ORCID
Date du dépôt:
24 juil. 2025 14:31
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:28
Citer en APA 7:
Špatenka, P., Hong, J., Pavel, J., Šerý, M., Martinu, L., & Wertheimer, M. R. (juillet 2001). Electron density and electron energy distribution functions in dual-mode microwave/radio frequency plasmas in argon [Communication écrite]. 15th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 2001), Orléans, France. https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc15/content/15/15-0653.pdf

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