A. Mackova, V. Perina, V. Hnatowicz, P. Supiot, C. Vivien, A. Bousquet, A. Granier, F. Boufayed, D. Escaich, P. Raynaud, Y. Segui, Gilles Dennler, Michael R. Wertheimer
, Z. Stryhal et J. Pavlik
Communication écrite (2003)
Un lien externe est disponible pour ce document
| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/66746/ |
| Nom de la conférence: | 16th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 2003) |
| Lieu de la conférence: | Taormina, Italy |
| Date(s) de la conférence: | 2003-06-22 - 2003-06-27 |
| URL officielle: | https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc16/co... |
| Date du dépôt: | 24 juil. 2025 13:24 |
| Dernière modification: | 24 juil. 2025 13:24 |
| Citer en APA 7: | Mackova, A., Perina, V., Hnatowicz, V., Supiot, P., Vivien, C., Bousquet, A., Granier, A., Boufayed, F., Escaich, D., Raynaud, P., Segui, Y., Dennler, G., Wertheimer, M. R., Stryhal, Z., & Pavlik, J. (juin 2003). Compared properties of Organosilicon films induced by RF and Microwave organosilicon/O₂ plasmas and afterglows [Communication écrite]. 16th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 2003), Taormina, Italy (5 pages). https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc16/complete/ISPC16_400_599.pdf#page=246 |
|---|---|
Statistiques
Aucune statistique n'est disponible.
Actions réservées au personnel
|
Afficher document |
