Mémoire de maîtrise (1989)
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| Renseignements supplémentaires: | Mémoire (M. Sc. A.) École polytechnique (Montréal, Québec) |
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| Département: | Département de génie physique |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/58254/ |
| Université/École: | Polytechnique Montréal |
| Date du dépôt: | 02 mai 2024 11:32 |
| Dernière modification: | 09 oct. 2024 14:47 |
| Citer en APA 7: | Lussier, P. (1989). Gravure d'arseniure de gallium par ions réactifs dans un plasma à base de CF [Mémoire de maîtrise, Polytechnique Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/58254/ |
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