Mémoire de maîtrise (1989)
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Mémoire (M. Sc. A.) École polytechnique (Montréal, Québec)
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ISBN:
0315502150; 9780315502154
Adresse URL de PolyPublie:
Université/École:
Polytechnique Montréal
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:58254
ORCID
Date du dépôt:
02 mai 2024 11:32
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:18
Citer en APA 7:
Lussier, P. (1989). Gravure d'arseniure de gallium par ions réactifs dans un plasma à base de CF [Mémoire de maîtrise, Polytechnique Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/58254/
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