Fabrication et caractérisation de couches-minces a-SiOxNy:H préparées par plasma hyperfréquentiel

Stéphane Blain

Mémoire de maîtrise (1989)

Document en libre accès dans PolyPublie

Affichage préliminaire

Libre accès au plein texte de ce document Version officielle de l'éditeur Conditions d'utilisation: Tous droits réservés Télécharger (3MB)

Renseignements supplémentaires:	Mémoire (M. Sc. A.) École polytechnique (Montréal, Québec)
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/57929/
Université/École:	Polytechnique Montréal
Date du dépôt:	03 avr. 2024 14:38
Dernière modification:	16 oct. 2024 21:14

Citer en APA 7:	Blain, S. (1989). Fabrication et caractérisation de couches-minces a-SiOxNy:H préparées par plasma hyperfréquentiel [Mémoire de maîtrise, Polytechnique Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/57929/
APA 7 (HTML)ASCII CitationAtomBibTeXDOIsDublin CoreEndNote (.ENW)MARC (ISO 2709/UTF-8) (.MRC)MARC (UTF-8) (.MRK8)MARC XMLMPEG-21 DIDLMultiline CSVOAI-ORE Resource Map (Atom Format)OPENAIREOpenURL ContextObjectOpenURL ContextObject in SpanRDF+N-TriplesRDF+N3RDF+XMLReferReference Manager (.RIS)Répertoire des publications (EndNote)Simple Metadata

Statistiques

Actions réservées au personnel