Fabrication et caractérisation de couches-minces a-SiOxNy:H préparées par plasma hyperfréquentiel

Stéphane Blain

Mémoire de maîtrise (1989)

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Renseignements supplémentaires:	Mémoire (M. Sc. A.) École polytechnique (Montréal, Québec)
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/57929/
Université/École:	Polytechnique Montréal
Date du dépôt:	03 avr. 2024 14:38
Dernière modification:	06 avr. 2024 09:48

Citer en APA 7:	Blain, S. (1989). Fabrication et caractérisation de couches-minces a-SiOxNy:H préparées par plasma hyperfréquentiel [Mémoire de maîtrise, Polytechnique Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/57929/
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