Fabrication et caractérisation de couches-minces a-SiOxNy:H préparées par plasma hyperfréquentiel

Stéphane Blain

Mémoire de maîtrise (1989)

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Renseignements supplémentaires:
Mémoire (M. Sc. A.) École polytechnique (Montréal, Québec)
ISBN:
0315501871; 9780315501874
Adresse URL de PolyPublie:
https://publications.polymtl.ca/57929/
Université/École:
Polytechnique Montréal
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:57929
ORCID
Date du dépôt:
03 avr. 2024 14:38
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:18
Citer en APA 7:
Blain, S. (1989). Fabrication et caractérisation de couches-minces a-SiOxNy:H préparées par plasma hyperfréquentiel [Mémoire de maîtrise, Polytechnique Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/57929/

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