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Properties of multilayer and graded index Si-based coatings deposited in dual-frequency plasma

Daniel Poitras, Jolanta-Ewa Sapieha, A. Moussi et Ludvik Martinu

Communication écrite (1993)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/55531/
Nom de la conférence: Optics Quebec, 1993
Lieu de la conférence: Quebec City, Canada
Date(s) de la conférence: 1993
Titre de la revue: Proceedings of SPIE (vol. 2046)
Maison d'édition: SPIE
DOI: 10.1117/12.163547
URL officielle: https://doi.org/10.1117/12.163547
Date du dépôt: 20 sept. 2023 12:34
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:47
Citer en APA 7: Poitras, D., Sapieha, J.-E., Moussi, A., & Martinu, L. (1993). Properties of multilayer and graded index Si-based coatings deposited in dual-frequency plasma [Communication écrite]. Optics Quebec, 1993, Quebec City, Canada (10 pages). Publié dans Proceedings of SPIE, 2046. https://doi.org/10.1117/12.163547

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