Salim Hassani, Duanjie Li, Ludvik Martinu
et Jolanta-Ewa Sapieha
Article de revue (2023)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/54658/ |
| Titre de la revue: | Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films (vol. 41, no 4) |
| Maison d'édition: | AVS Science and Technology Society |
| DOI: | 10.1116/6.0002423 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1116/6.0002423 |
| Date du dépôt: | 29 août 2023 14:10 |
| Dernière modification: | 08 avr. 2025 07:23 |
| Citer en APA 7: | Hassani, S., Li, D., Martinu, L., & Sapieha, J.-E. (2023). Highly elastic hard PECVD TiSiC:H/a-SiC:H coatings with enhanced erosion and corrosion resistance: The trampoline effect. Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films, 41(4), 11 pages. https://doi.org/10.1116/6.0002423 |
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