Highly elastic hard PECVD TiSiC:H/a-SiC:H coatings with enhanced erosion and corrosion resistance: The trampoline effect

S. Hassani, D. Li, Ludvik Martinu et Jolanta-Ewa Sapieha

Article de revue (2023)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/54658/
Titre de la revue:	Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films (vol. 41, no 4)
Maison d'édition:	AVS Science and Technology Society
DOI:	10.1116/6.0002423
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/6.0002423
Date du dépôt:	29 août 2023 14:10
Dernière modification:	05 avr. 2024 12:01

Citer en APA 7:	Hassani, S., Li, D., Martinu, L., & Sapieha, J.-E. (2023). Highly elastic hard PECVD TiSiC:H/a-SiC:H coatings with enhanced erosion and corrosion resistance: The trampoline effect. Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films, 41(4), 11 pages. https://doi.org/10.1116/6.0002423
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