Highly elastic hard PECVD TiSiC:H/a-SiC:H coatings with enhanced erosion and corrosion resistance: The trampoline effect

Salim Hassani, Duanjie Li, Ludvik Martinu, Jolanta-Ewa Sapieha

Article de revue (2023)

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Titre de la revue :
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films ( vol. 41 , no 4 )
Maison d'édition:
AVS Science and Technology Society
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:54658
ORCID
Date du dépôt:
29 août 2023 14:10
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:13
Citer en APA 7:
Hassani, S., Li, D., Martinu, L., & Sapieha, J.-E. (2023). Highly elastic hard PECVD TiSiC:H/a-SiC:H coatings with enhanced erosion and corrosion resistance: The trampoline effect. Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films, 41(4), 11 pages. https://doi.org/10.1116/6.0002423

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