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A 5 V MEMS gyroscope with 3 aF/°/s sensitivity, 0.6 °/√hr mechanical noise and drive-sense crosstalk minimization"

Mohannad Elsayed, Frédéric Nabki, Mohamad Sawan et Mourad El-Gamal

Communication écrite (2011)

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Département: Département de génie électrique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/52026/
Nom de la conférence: International Conference on Microelectronics (OCM 2011)
Lieu de la conférence: Hammamet, Tunisia
Date(s) de la conférence: 2011-12-19 - 2011-12-22
Maison d'édition: IEEE
DOI: 10.1109/icm.2011.6177338
URL officielle: https://doi.org/10.1109/icm.2011.6177338
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:12
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:42
Citer en APA 7: Elsayed, M., Nabki, F., Sawan, M., & El-Gamal, M. (décembre 2011). A 5 V MEMS gyroscope with 3 aF/°/s sensitivity, 0.6 °/√hr mechanical noise and drive-sense crosstalk minimization" [Communication écrite]. International Conference on Microelectronics (OCM 2011), Hammamet, Tunisia (5 pages). https://doi.org/10.1109/icm.2011.6177338

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