A 5 V MEMS gyroscope with 3 aF/°/s sensitivity, 0.6 °/√hr mechanical noise and drive-sense crosstalk minimization"

Mohannad Elsayed, Frédéric Nabki, Mohamad Sawan, Mourad El-Gamal

Communication écrite (2011)

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Département:
Département de génie électrique
ISBN:
9781457722073
Adresse URL de PolyPublie:
https://publications.polymtl.ca/52026/
Nom de la conférence:
International Conference on Microelectronics (OCM 2011)
Lieu de la conférence:
Hammamet, Tunisia
Date(s) de la conférence:
2011-12-19 - 2011-12-22
Maison d'édition:
IEEE
DOI:
10.1109/icm.2011.6177338
URL officielle:
https://doi.org/10.1109/icm.2011.6177338
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:52026
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:12
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:09
Citer en APA 7:
Elsayed, M., Nabki, F., Sawan, M., & El-Gamal, M. (décembre 2011). A 5 V MEMS gyroscope with 3 aF/°/s sensitivity, 0.6 °/√hr mechanical noise and drive-sense crosstalk minimization" [Communication écrite]. International Conference on Microelectronics (OCM 2011), Hammamet, Tunisia (5 pages). https://doi.org/10.1109/icm.2011.6177338

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