Tailoring angular selectivity in SiO₂ slanted columnar thin films using atomic layer deposition of titanium nitride

Sasha Woodward-Gagné, Nicolas Desjardins-Lecavalier, Bill Baloukas, Oleg Zabeida et Ludvik Martinu

Article de revue (2019)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/44137/
Titre de la revue:	Optical Materials Express (vol. 9, no 12)
Maison d'édition:	OSA
DOI:	10.1364/ome.9.004556
URL officielle:	https://doi.org/10.1364/ome.9.004556
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:02
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:42

Citer en APA 7:	Woodward-Gagné, S., Desjardins-Lecavalier, N., Baloukas, B., Zabeida, O., & Martinu, L. (2019). Tailoring angular selectivity in SiO₂ slanted columnar thin films using atomic layer deposition of titanium nitride. Optical Materials Express, 9(12), 4556-4563. https://doi.org/10.1364/ome.9.004556
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