Tailoring angular selectivity in SiO₂ slanted columnar thin films using atomic layer deposition of titanium nitride

Sasha Woodward-Gagné, Nicolas Desjardins-Lecavalier, Bill Baloukas, Oleg Zabeida, Ludvik Martinu

Article de revue (2019)

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Titre de la revue :
Optical Materials Express ( vol. 9 , no 12 )
Maison d'édition:
OSA
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:44137
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:02
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:56
Citer en APA 7:
Woodward-Gagné, S., Desjardins-Lecavalier, N., Baloukas, B., Zabeida, O., & Martinu, L. (2019). Tailoring angular selectivity in SiO₂ slanted columnar thin films using atomic layer deposition of titanium nitride. Optical Materials Express, 9(12), 4556-4563. https://doi.org/10.1364/ome.9.004556

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