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Special issue: Plasmas for micro-fabrication

Satoshi Hamaguchi, Sumit Agarwal, Lenka Zajíčková et Michael R. Wertheimer

Article de revue (2019)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/43658/
Titre de la revue: Plasma Processes and Polymers (vol. 16, no 9)
Maison d'édition: Wiley-VCH Verlag
DOI: 10.1002/ppap.201990001
URL officielle: https://doi.org/10.1002/ppap.201990001
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:02
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:30
Citer en APA 7: Hamaguchi, S., Agarwal, S., Zajíčková, L., & Wertheimer, M. R. (2019). Special issue: Plasmas for micro-fabrication. Plasma Processes and Polymers, 16(9), 2 pages. https://doi.org/10.1002/ppap.201990001

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