Satoshi Hamaguchi, Sumit Agarwal, Lenka Zajíčková, Michael R. Wertheimer
Article de revue (2019)
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Département:
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Titre de la revue
:
Plasma Processes and Polymers
(
vol.
16
,
no
9
)
Maison d'édition:
Wiley-VCH Verlag
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:43658
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:02
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:55
Citer en APA 7:
Hamaguchi, S., Agarwal, S., Zajíčková, L., & Wertheimer, M. R. (2019). Special issue: Plasmas for micro-fabrication. Plasma Processes and Polymers, 16(9), 2 pages. https://doi.org/10.1002/ppap.201990001
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