Effect of bias and temperature on the bulk and surface properties of gold-containing plasma-polymerized fluorocarbons

R. d'Agostino, Ludvik Martinu et V. Pische

Article de revue (1991)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/42003/
Titre de la revue:	Plasma Chemistry and Plasma Processing (vol. 11, no 1)
Maison d'édition:	Springer
DOI:	10.1007/bf01447031
URL officielle:	https://doi.org/10.1007/bf01447031
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	25 sept. 2024 16:28

Citer en APA 7:	d'Agostino, R., Martinu, L., & Pische, V. (1991). Effect of bias and temperature on the bulk and surface properties of gold-containing plasma-polymerized fluorocarbons. Plasma Chemistry and Plasma Processing, 11(1), 1-13. https://doi.org/10.1007/bf01447031
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