Viktor Marushka, Oleg Zabeida et Ludvik Martinu
Article de revue (2014)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/41875/ |
| Titre de la revue: | Journal of Vacuum Science & Technology A (vol. 32, no 6) |
| Maison d'édition: | American Institute of Physics |
| DOI: | 10.1116/1.4900541 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1116/1.4900541 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:08 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:27 |
| Citer en APA 7: | Marushka, V., Zabeida, O., & Martinu, L. (2014). Distribution of ion current density on a rotating spherical cap substrate during ion-assisted deposition. Journal of Vacuum Science & Technology A, 32(6), 61513-61513. https://doi.org/10.1116/1.4900541 |
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