Distribution of ion current density on a rotating spherical cap substrate during ion-assisted deposition

Viktor Marushka, Oleg Zabeida et Ludvik Martinu

Article de revue (2014)

Un lien externe est disponible pour ce document

Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/41875/
Titre de la revue:	Journal of Vacuum Science & Technology A (vol. 32, no 6)
Maison d'édition:	American Institute of Physics
DOI:	10.1116/1.4900541
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/1.4900541
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:08
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:39

Citer en APA 7:	Marushka, V., Zabeida, O., & Martinu, L. (2014). Distribution of ion current density on a rotating spherical cap substrate during ion-assisted deposition. Journal of Vacuum Science & Technology A, 32(6), 61513-61513. https://doi.org/10.1116/1.4900541
APA 7 (HTML)ASCII CitationAtomBibTeXDOIsDublin CoreEndNote (.ENW)MARC (ISO 2709/UTF-8) (.MRC)MARC (UTF-8) (.MRK8)MARC XMLMPEG-21 DIDLMultiline CSVOAI-ORE Resource Map (Atom Format)OPENAIREOpenURL ContextObjectOpenURL ContextObject in SpanRDF+N-TriplesRDF+N3RDF+XMLReferReference Manager (.RIS)Répertoire des publications (EndNote)Simple Metadata

Statistiques

Actions réservées au personnel