Viktor Marushka, Oleg Zabeida, Ludvik Martinu
Article de revue (2014)
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Département:
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Titre de la revue
:
Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films
(
vol.
32
,
no
6
)
Maison d'édition:
American Institute of Physics
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:41875
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:08
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:52
Citer en APA 7:
Marushka, V., Zabeida, O., & Martinu, L. (2014). Distribution of ion current density on a rotating spherical cap substrate during ion-assisted deposition. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 32(6), 61513-61513. https://doi.org/10.1116/1.4900541
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