Investigating strain in silicon-on-insulator nanostructures by coherent X-ray diffraction

Gang Xiong, Oussama Moutanabbir, Manfred Reiche, Ross Harder et Ian Robinson

Chapitre de livre (2018)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/40033/
Éditeurs ou éditrices:	Chunhai Fan et Zhentang Zhao
Maison d'édition:	Wiley
DOI:	10.1002/9783527697106.ch8
URL officielle:	https://doi.org/10.1002/9783527697106.ch8
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:03
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:35

Citer en APA 7:	Xiong, G., Moutanabbir, O., Reiche, M., Harder, R., & Robinson, I. (2018). Investigating strain in silicon-on-insulator nanostructures by coherent X-ray diffraction. Dans Fan, C., & Zhao, Z. (édit.), Synchrotron radiation in materials science (239-274). https://doi.org/10.1002/9783527697106.ch8
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