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Effect of elevated substrate temperature deposition on the mechanical losses in tantala thin film coatings

G. Vajente, R. Birney, A. Ananyeva, S. Angelova, R. Asselin, Bill Baloukas, R. Bassiri, G. Billingsley, M. M. Fejer, D. Gibson, L. J. Godbout, E. Gustafson, A. Heptonstall, J. Hough, S. MacFoy, A. Markosyan, I. W. Martins, Ludvik Martinu, P. G. Murray, S. Penn, S. Roorda, S. Rowan, F. Schiettekatte, R. Shink, C. Torrie, D. Vine, S. Reid et R. X. Adhikari

Article de revue (2018)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/39995/
Titre de la revue: Classical and Quantum Gravity (vol. 35, no 7)
Maison d'édition: IOP Publishing
DOI: 10.1088/1361-6382/aaad7c
URL officielle: https://doi.org/10.1088/1361-6382/aaad7c
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:03
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:25
Citer en APA 7: Vajente, G., Birney, R., Ananyeva, A., Angelova, S., Asselin, R., Baloukas, B., Bassiri, R., Billingsley, G., Fejer, M. M., Gibson, D., Godbout, L. J., Gustafson, E., Heptonstall, A., Hough, J., MacFoy, S., Markosyan, A., Martins, I. W., Martinu, L., Murray, P. G., ... Adhikari, R. X. (2018). Effect of elevated substrate temperature deposition on the mechanical losses in tantala thin film coatings. Classical and Quantum Gravity, 35(7), 18 pages. https://doi.org/10.1088/1361-6382/aaad7c

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