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Détection multi-gas avec interféromètre de Fabry-Perot sur puce de silicium

Régis Guertin

Masters thesis (2019)

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Cite this document: Guertin, R. (2019). Détection multi-gas avec interféromètre de Fabry-Perot sur puce de silicium (Masters thesis, Polytechnique Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/3993/
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Abstract

La réplique d’un nez biologique est depuis longtemps un sujet sur lequel les chercheurs travaillent, car l’odorat est l’un des derniers sens à avoir son équivalent artificiel. Ce sens nous permet d’identifier des millions d’espèces chimiques dans l’environnement qui nous entoure et agit à la fois comme dispositif de santé-sécurité ainsi que d’identification de substances dont l’on se sert tous les jours. Les nez artificiels voient plusieurs applications potentielles telles que la détection du cancer, la détection de méthane et de gaz irritants chez les bovins, la sécurité minière ainsi que les contrôles de qualité. Inspiré du nez humain, ce projet se base sur une matrice de senseurs fonctionnalisés avec des polymères non sélectifs pour faire l’analyse de mélanges gazeux et ainsi en déterminer les concentrations. Le senseur est fabriqué sur puce de silicium en gravant verticalement deux miroirs de Bragg formant une cavité Fabry-Perot. Il est fonctionnalisé en remplissant la cavité de différents polymères tels que le PDMS, le PEG et le SU8. Lorsqu’exposés à des gaz, ces polymères prennent de l’expansion et déforment les cavités Fabry-Perot ce qui entraîne un changement de la fréquence de résonance de la cavité. Les décalages en longueur d’onde sont ensuite corrélés avec les concentrations de gaz auxquelles le senseur est exposé. Le projet vise à montrer la possibilité de déterminer les concentrations de mélanges gazeux. Les gaz mélangés sont le butanol, l’IPA, des vapeurs d’eau ainsi que l’acide valérique. Il sera montré que la limite de détection, dans un cas de mélange, atteint 8,1 ppm pour l’acide valérique. Il sera aussi montré que les polymères, de manière individuelle, n’offrent aucune sélectivité pour un mélange de gaz. Toutefois, l’ensemble de leurs signaux permet de faire les mesures de concentrations avec des erreurs relatives 7,7% et de 21% pour un mélange d’eau et d’IPA respectivement. D’autres propriétés du senseur, telles que la sensibilité aux différents gaz, la sélectivité, les limites de détections ainsi que le temps de réponse seront présentés.----------Abstract The replication of a biological nose is one of the last sense that we are not able to fully achieve. Smell allows us to identify million different chemical species in our surroundings and can be used as a safety and an identification organ that we rely on every day. Artificial noses could have a great impact on applications such as cancer detection, increase security in mines and quality control of industrial processes. Inspired by the human nose, this project is based on a non-selective polymer optical sensor array to analyse gas mixtures and to predict their concentrations. The sensor is made of two silicon air Bragg mirrors etched vertically on a silicon chip to form a Fabry-Perot cavity. The cavities are filled with different polymers such as PDMS, PEG and SU8 as their sensitive elements. When exposed to a gas, swelling of the polymers can be observed, which widens the Fabry-Perot cavity causing a shift of the resonant frequency. This change in frequency is then directly correlated to gas concentrations. This project will demonstrate the possibility to predict the individual concentrations of different gas mixtures such as IPA, butanol, water vapors and valeric acid. Even though polymers are sensitive to a wide variety of gas, it will be shown that by combining multiple signals it is possible to get selectivity between two gases. Limits of detection as low as 8,1 ppm for valeric acid is obtained while being in a mixture. Relative errors of concentrations as low as 7,7% and 21% are obtained for water vapors and IPA mixture respectively. Finally, other properties of the sensor such as sensitivity, selectivity, limit of detection and time response will be presented.

Open Access document in PolyPublie
Department: Département de génie physique
Dissertation/thesis director: Yves-Alain Peter
Date Deposited: 11 Oct 2019 10:11
Last Modified: 11 Oct 2019 10:11
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/3993/

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